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微导纳米申请载具及镀膜设备专利,能够避免或者降低局部高频打弧的现象
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金融界2024年4月8日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“载具及镀膜设备“,公开号CN117821949A,申请日期为2024年2月。
专利摘要显示,本申请涉及一种载具及镀膜设备,其中,载具包括导电舟体和设于导电舟体底部的支撑件,支撑件包括支撑舟脚和馈电舟脚,馈电舟脚,馈电舟脚支撑于馈电承舟块;导电舟体和馈电承舟块通过导电件电性连接,馈电舟脚包括包裹于导电件外的绝缘件。该载具的设置,使得镀膜设备在生产过程中,能够避免或者降低局部高频打弧的现象,改善馈电接触,保证电场的稳定性以及产品的良率、效率和产量。
本文源自金融界
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