金融界2024年4月13日消息,据国家知识产权局公告,中节能万润股份有限公司申请一项名为“用于光刻胶底部抗反射涂层的聚合物及制备方法和应用“,公开号CN117872680A,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本发明涉及光刻胶技术领域,具体涉及用于光刻胶底部抗反射涂层的聚合物及制备方法和应用,所述聚合物具有如下结构式。

本文源自金融界

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